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薄膜電容檢測器的檢測氣室內(nèi)充填有待測組分氣體。選擇性好的儀表一般是分析什么氣體,則檢測室中就充填什么氣體。但有的時候,儀表要分析腐蝕性強的氣體,考慮到材料的原因,檢測器氣室中就不可能充填這種帶強腐蝕性的氣體,只能選擇一種與待測組分特征吸收波長相近的氣體,這樣,儀表的選擇性就會差一點。充填氣體的濃度則要根據(jù)具體情況來定,對于吸收紅外線能力很強的CO2、CO等氣體,充填氣只要含10%-18%的CO2、CO就可以了,其余的氣體則是Ar或N2,最好充填Ar,因為Ar的熱容量小,升高到相同溫度,Ar所需要的的熱量少。不能充純氣體,因為純氣體的濃度太高時,輻射來的紅外線在靠近窗口處會被吸收掉,不能再深入到檢測器氣室的深處,這樣部分熱量就在窗口附近傳出損失掉,這就會影響儀表的靈敏度。充填氣體中待測組分濃度的大小,應以使紅外線輻射到達檢測器氣室底部時剛好被吸收掉,這樣最為理想。檢測器氣室中充填待測組分濃度的大小,還得根據(jù)檢測器氣室的大小以及被測氣體的情況,一般都是由實驗來確定。為了確保薄膜電容器的選擇性充填氣體中的雜質(zhì)越少越好。